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著者 (6件)：
資料名：
巻： 1986 ページ： 184-187 発行年： 1986年
JST資料番号： C0829B ISSN： 0163-1918 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902053148450607
整理番号：87A0396243
マイクロ振動膜圧力センサ
Micro-diaphragm pressure sensor.
SUGIYAMA S
(Toyota Central Research & Development Lab. Inc., Aichi, JPN)
,
SUZUKI T
(Toyota Central Research & Development Lab. Inc., Aichi, JPN)
,
KAWAHATA K
(Toyota Central Research & Development Lab. Inc., Aichi, JPN)
,
SHIMAOKA K
(Toyota Central Research & Development Lab. Inc., Aichi, JPN)
,
TAKIGAWA M
(Toyota Central Research & Development Lab. Inc., Aichi, JPN)
,
IGARASHI I
(Toyota Central Research & Development Lab. Inc., Aichi, JPN)
資料名：
Technical Digest. International Electron Devices Meeting
(Technical Digest. International Electron Devices Meeting)
巻： 1986 ページ： 184-187 発行年： 1986年
JST資料番号： C0829B ISSN： 0163-1918 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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