文献
J-GLOBAL ID:200902054638965520
整理番号:90A0606341
微細加工によるシリコンマイクロバルブ
Micromachined silicon microvalve.
著者 (4件):
OHNSTEIN T
(Honeywell, Inc., Minnesota)
,
FUKIURA T
(Yamatake-Honeywell, Tokyo, JPN)
,
RIDLEY J
(Honeywell, Inc., Minnesota)
,
BONNE U
(Honeywell, Inc., Minnesota)
資料名:
Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1990
(Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1990)
ページ:
95-98
発行年:
1990年
JST資料番号:
K19900617
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)