文献
J-GLOBAL ID:200902057176904104
整理番号:93A0315338
多孔質シリコン構造の作製
The fabrication of porous silicon structures.
著者 (2件):
SEARSON P C
(Johns Hopkins Univ., MD, USA)
,
MACAULAY J M
(AT&T Bell Lab., NJ, USA)
資料名:
Nanotechnology
(Nanotechnology)
巻:
3
号:
4
ページ:
188-191
発行年:
1992年10月
JST資料番号:
W0108A
ISSN:
0957-4484
CODEN:
NNOTER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)