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著者 (8件)：
資料名：
巻： 64 号： 1/4 ページ： 770-773 発行年： 1992年02月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902057736305104
整理番号：92A0331022
MeVヘリウムイオンマイクロプローブによって観察したけい化コバルト横方向成長
Lateral growth of cobalt silicide observed by an MeV helium ion microprobe.
KINOMURA A
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
RYSSEL H
(Fraunhofer-Arbeitsgruppe fuer Integrierte Schaltungen, Erlangen, DEU)
,
SATOU M
(Government Industrial Research Inst. Osaka, Osaka, JPN)
,
TAKAI M
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
TSIEN P H
(Fraunhofer-Arbeitsgruppe fuer Integrierte Schaltungen, Erlangen, DEU)
,
CHAYAHARA A
(Government Industrial Research Inst. Osaka, Osaka, JPN)
,
NAMBA S
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
BURTE E
(Fraunhofer-Arbeitsgruppe fuer Integrierte Schaltungen, Erlangen, DEU)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 64 号： 1/4 ページ： 770-773 発行年： 1992年02月
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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