文献
J-GLOBAL ID:200902058557105158
整理番号:90A0635230
有機金属気相エピタクシ用垂直反応器中の輸送現象 I 熱伝達特性,反応器形状および操作条件の影響
Transport phenomena in vertical reactors for metalorganic vapor phase epitaxy. I. Effects of heat transfer characteristics, reactor geometry, and operating conditions.
著者 (3件):
FOTIADIS D I
(Univ. Minnesota, Minnesota, USA)
,
KIEDA S
(Univ. Minnesota, Minnesota, USA)
,
JENSEN K F
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts, USA)
資料名:
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻:
102
号:
3
ページ:
441-470
発行年:
1990年05月
JST資料番号:
B0942A
ISSN:
0022-0248
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)