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著者 (2件)：
資料名：
巻： 5 号： 4 Pt 4 ページ： 2231-2238 発行年： 1987年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902058591592548
整理番号：87A0542677
プラズマ増大化学蒸着 直接プラズマ励起と遠隔プラズマ励起の差
Plasma enhanced chemical vapor deposition: Differences between direct and remote plasma excitation.
LUCOVSKY G
(North Carolina State Univ., NC, USA)
,
TSU D V
(North Carolina State Univ., NC, USA)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 5 号： 4 Pt 4 ページ： 2231-2238 発行年： 1987年07月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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