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著者 (5件)：
資料名：
巻： 38 号： 8/10 ページ： 869-872 発行年： 1988年
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902059277424122
整理番号：89A0201385
真空蒸着層の厚さ均一性
Thickness uniformity of vacuum deposited layers.
TODOROVA S
(Technical Univ. “A Kanchev”, Russe, BGR)
,
POPOV D
(Technical Univ. “A Kanchev”, Russe, BGR)
,
DIMITROV E
(Technical Univ. “A Kanchev”, Russe, BGR)
,
DOCHEV D
(Technical Univ. “A Kanchev”, Russe, BGR)
,
KANEV M
(Technical Univ. “A Kanchev”, Russe, BGR)
資料名：
Vacuum
(Vacuum)
巻： 38 号： 8/10 ページ： 869-872 発行年： 1988年
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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