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著者 (4件)：
資料名：
巻： 43 号： 6 ページ： 544-546 発行年： 1983年09月15日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902060662441745
整理番号：84A0074362
アルゴン-シラン放電のラジカル種
Radical species in argon-silane discharges.
ROBERTSON R
,
HILS D
,
CHATHAM H
,
GALLAGHER A
(National Bureau of Standards, Colorado)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 43 号： 6 ページ： 544-546 発行年： 1983年09月15日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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