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著者 (2件)：
資料名：
巻： 7 号： 3 Pt.2 ページ： 2294-2302 発行年： 1989年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902061495650880
整理番号：89A0419677
ダイヤモンド膜とダイヤモンド様炭素膜 その作製法と性質
Diamond and diamondlike films: Deposition processes and properties.
DESHPANDEY C V
(Univ. California, CA, USA)
,
BUNSHAH R F
(Univ. California, CA, USA)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 7 号： 3 Pt.2 ページ： 2294-2302 発行年： 1989年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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