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著者 (1件)：
資料名：
巻： 8 号： 5 ページ： 3796-3802 発行年： 1990年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902063336157750
整理番号：91A0005841
Cu/PtSi,Cu/SiおよびAl/PtSi構造の障壁としてのTa
Ta as a barrier for the Cu/PtSi, Cu/Si, and Al/PtSi structures.
CHANG C-A
(IBM T.J. Watson Research Center, New York)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 8 号： 5 ページ： 3796-3802 発行年： 1990年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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