文献
J-GLOBAL ID:200902064249923451
整理番号:92A0721601
チップ上にMOSFET開閉器を備えたゆがみの小さい二次元位置に感ずる検出器(PSD)
A small-distortion two-dimensional position-sensitive detector (PSD) with on-chip MOSFET switches.
著者 (2件):
MORIKAWA Y
(Nippon Steel Corp., Kawasaki, JPN)
,
KAWAMURA K
(Shizuoka Inst. Science and Technology, Fukuroi, JPN)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
34
号:
2
ページ:
123-129
発行年:
1992年08月
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)