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著者 (6件)：
資料名：
巻： 25 号： 4 ページ： 755-759 発行年： 1989年04月
JST資料番号： H0432A ISSN： 0018-9197 CODEN： IEJQA7 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902064731696667
整理番号：89A0418491
光集積素子検査用のマイクロメータ分解能をもつ光反射測定法
Optical reflectometry with micrometer resolution for the investigation of integrated optical devices.
BEAUD P
(Univ. Berne, Berne, CHE)
,
SCHUETZ J
(Univ. Berne, Berne, CHE)
,
HODEL W
(Univ. Berne, Berne, CHE)
,
WEBER H P
(Univ. Berne, Berne, CHE)
,
GILGEN H H
(Technical Center PTT, Berne, CHE)
,
SALATH<span style=text-decoration:overline>E ́</span> R P
(Technical Center PTT, Berne, CHE)
資料名：
IEEE Journal of Quantum Electronics
(IEEE Journal of Quantum Electronics)
巻： 25 号： 4 ページ： 755-759 発行年： 1989年04月
JST資料番号： H0432A ISSN： 0018-9197 CODEN： IEJQA7 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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