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資料名：
巻： 66 号： 7 ページ： 2926-2929 発行年： 1989年10月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902065694809339
整理番号：90A0157611
プラズマ浸漬イオン注入のモデル
Model of plasma immersion ion implantation.
LIEBERMAN M A
(Univ. California, California)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 66 号： 7 ページ： 2926-2929 発行年： 1989年10月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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