文献
J-GLOBAL ID:200902065729670509
整理番号:91A0443196
ウエハボンディングによるシリコン-オン-インシュレータ 総説
Silicon-on-insulator by wafer bonding: A review.
著者 (1件):
MASZARA W P
(Allied-Signal Aerospace Co., Maryland)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
138
号:
1
ページ:
341-347
発行年:
1991年01月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)