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著者 (1件)：
資料名：
巻： 4 号： 3 Pt 1 ページ： 338-343 発行年： 1986年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902066573028492
整理番号：87A0031296
分子状ガス流における新しい方法
New concepts in molecular gas flow.
SANTELER D J
(Process Applications Inc., TN, USA)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 4 号： 3 Pt 1 ページ： 338-343 発行年： 1986年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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