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文献
J-GLOBAL ID:200902068340389706   整理番号:93A0717315

プラズマプロセシング用誘導結合プラズマのレビュー

Review of inductively coupled plasmas for plasma processing.
著者 (1件):
HOPWOOD J
(IBM Research Division, New York, USA)

資料名:
Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Science and Technology)

巻:号:ページ: 109-116  発行年: 1992年05月 
JST資料番号: W0479A  ISSN: 0963-0252  CODEN: PSTEEU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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