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資料名：
巻： 1 号： 2 ページ： 109-116 発行年： 1992年05月
JST資料番号： W0479A ISSN： 0963-0252 CODEN： PSTEEU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902068340389706
整理番号：93A0717315
プラズマプロセシング用誘導結合プラズマのレビュー
Review of inductively coupled plasmas for plasma processing.
HOPWOOD J
(IBM Research Division, New York, USA)
資料名：
Plasma Sources Science and Technology
(Plasma Sources Science and Technology)
巻： 1 号： 2 ページ： 109-116 発行年： 1992年05月
JST資料番号： W0479A ISSN： 0963-0252 CODEN： PSTEEU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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