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文献
J-GLOBAL ID:200902070195496595   整理番号:92A0006324

差画像検出方式異物検査装置の開発

Development of Particle Detection System using Subtracted Image Signal.
著者 (9件):
秋山伸幸
(日立 生産技研)
中田俊彦
(日立 生産技研)
牧平坦
(日立 生産技研)
土井秀明
(日立 生産技研)
水野文夫
(日立 デバイス開セ)
井古田まさみ
(日立 デバイス開セ)
細江卓朗
(日立電子エンジニアリング)
近松秀一
(日立電子エンジニアリング)
阿部茂
(日立電子エンジニアリング)

資料名:
精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)

巻: 57  号: 11  ページ: 1955-1960  発行年: 1991年11月 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0912-0289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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