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著者 (3件)：
資料名：
巻： 1672 ページ： 46-55 発行年： 1992年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902070217622492
整理番号：92A0633956
Deep-UV resists with improved delay capabilities.
FUNHOFF D J H
(BASF AG, Ludwigshafen, DEU)
,
BINDER H
(BASF AG, Ludwigshafen, DEU)
,
SCHWALM R
(BASF AG, Ludwigshafen, DEU)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 1672 ページ： 46-55 発行年： 1992年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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