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著者 (5件)：
資料名：
巻： 3 号： 2 ページ： 303-307 発行年： 1985年03月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902071211449337
整理番号：85A0371873
反応性マグネトロンスパッタリング法による単結晶TiN膜の成長とその性質
Growth and properties of single crystal TiN films deposited by reactive magnetron sputtering.
JOHANSSON B O
(Linkoeping Univ., Sweden)
,
SUNDGREN J-E
(Linkoeping Univ., Sweden)
,
GREENE J E
(Linkoeping Univ., Sweden)
,
ROCKETT A
(Univ. Illinois)
,
BARNETT S A
(Univ. Illinois)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 3 号： 2 ページ： 303-307 発行年： 1985年03月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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