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著者 (2件)：
資料名：
巻： 10 号： 5 ページ： 2307-2310 発行年： 1992年09月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902071651996950
整理番号：93A0058862
低温熱酸化によるチップの微細型加工
Low temperature thermal oxidation sharpening of microcast tips.
AKAMINE S
(Stanford Univ., California)
,
QUATE C F
(Stanford Univ., California)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 10 号： 5 ページ： 2307-2310 発行年： 1992年09月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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