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著者 (4件)：
資料名：
巻： 71 号： 7 ページ： 3186-3192 発行年： 1992年04月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902074917082486
整理番号：92A0363365
CF4/ArプラズマのCFとCF2の光量測定
CF and CF2 actinometry in a CF4/Ar plasma.
KISS L D B
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
,
NICOLAI J-P
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
,
CONNER W T
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
,
SAWIN H H
(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 71 号： 7 ページ： 3186-3192 発行年： 1992年04月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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