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著者 (2件)：
資料名：
巻： 45 号： 1 ページ： 45-46 発行年： 1988年01月
JST資料番号： E0501B ISSN： 0946-2171 CODEN： APBOEM 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902076483211102
整理番号：88A0360777
空気中でポリイミドのエキシマレーザによるエッチングで生成された黒色沈着物のCO2レーザによる浄化
CO2 laser cleaning of black deposits formed during the excimer laser etching of polyimide in air.
KOREN G
(IBM T.J. Watson Research Center, NY, USA)
,
DONELON J J
(IBM T.J. Watson Research Center, NY, USA)
資料名：
Applied Physics. B. Lasers and Optics
(Applied Physics. B. Lasers and Optics)
巻： 45 号： 1 ページ： 45-46 発行年： 1988年01月
JST資料番号： E0501B ISSN： 0946-2171 CODEN： APBOEM 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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