文献
J-GLOBAL ID:200902077446872464
整理番号:90A0610825
ダイヤモンド成長の間のメチルラジカルとH原子の濃度
Methyl radical and H-atom concentrations during diamond growth.
著者 (2件):
HARRIS S J
(General Motors Research Lab., Michigan)
,
WEINER A M
(General Motors Research Lab., Michigan)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
67
号:
10
ページ:
6520-6526
発行年:
1990年05月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)