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著者 (4件)：
資料名：
巻： 6 号： 3 Pt.2 ページ： 2158-2161 発行年： 1988年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902080755457600
整理番号：89A0092081
ZrNと(Ti,Al)Nコーティング膜の構造と組成
Structure and composition of ZrN and (Ti,Al)N coatings.
PENTTINEN I
(Helsinki Univ. Technology, Espoo, FIN)
,
MOLARIUS J M
(Helsinki Univ. Technology, Espoo, FIN)
,
KORHONEN A S
(Helsinki Univ. Technology, Espoo, FIN)
,
LAPPALAINEN R
(Univ. Helsinki, Helsinki, FIN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 6 号： 3 Pt.2 ページ： 2158-2161 発行年： 1988年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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