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著者 (2件)：
資料名：
巻： 70 号： 7 ページ： 3481-3487 発行年： 1991年10月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902083149886316
整理番号：91A0899105
有限立上げおよび下降電圧パルスのプラズマインマージョンイオン注入のモデル
Model of plasma immersion ion implantation for voltage pulses with finite rise and fall times.
STEWART R A
(Univ. California, California)
,
LIEBERMAN M A
(Univ. California, California)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 70 号： 7 ページ： 3481-3487 発行年： 1991年10月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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