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著者 (4件)：
資料名：
巻： 3 号： 3 ページ： 394-407 発行年： 1991年05月
JST資料番号： T0893A ISSN： 0897-4756 CODEN： CMATEX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902084299388060
整理番号：91A0553747
マイクロリソグラフィーの化学増幅機構
Chemical Amplification Mechanisms for Microlithography.
REICHMANIS E
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
,
HOULIHAN F M
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
,
NALAMASU O
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
,
NEENAN T X
(AT&T Bell Lab., New Jersey)
資料名：
Chemistry of Materials
(Chemistry of Materials)
巻： 3 号： 3 ページ： 394-407 発行年： 1991年05月
JST資料番号： T0893A ISSN： 0897-4756 CODEN： CMATEX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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