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資料名：
巻： 67 号： 11 ページ： 6764-6771 発行年： 1990年06月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902085016653680
整理番号：90A0605555
Si中のFeを検出する迅速で検査用試料作製の必要がない方法
A fast, preparation-free method to detect iron in silicon.
ZOTH G
(Siemens AG, Munich, DEU)
,
BERGHOLZ W
(Siemens AG, Munich, DEU)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 67 号： 11 ページ： 6764-6771 発行年： 1990年06月01日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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