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著者 (3件)：
資料名：
巻： 1 号： 4 ページ： 1276-1279 発行年： 1983年10月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902085398058264
整理番号：84A0246557
X線リソグラフィー用双格子整合法
A dual grating alignment technique for x-ray lithography.
KINOSHITA H
(Atsugi Electrical Communication Lab.)
,
UNE A
(Atsugi Electrical Communication Lab.)
,
IKI M
(Atsugi Electrical Communication Lab.)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 1 号： 4 ページ： 1276-1279 発行年： 1983年10月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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