文献
J-GLOBAL ID:200902087558992344
整理番号:88A0098734
極めて短い(160fs)紫外(308nm)レーザパルスによるポリメタクリル酸メチルのアブレーション及びエッチング
Ablation and etching of polymethylmethacrylate by very short (160fs) ultraviolet (308nm) laser pulses.
著者 (3件):
SRINIVASAN R
(IBM T.J. Watson Research Center, NY, USA)
,
SUTCLIFFE E
(IBM T.J. Watson Research Center, NY, USA)
,
BRAREN B
(IBM T.J. Watson Research Center, NY, USA)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
51
号:
16
ページ:
1285-1287
発行年:
1987年10月19日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)