文献
J-GLOBAL ID:200902088731098782
整理番号:91A0527005
r.f.スパッタInSe膜の光学的,構造的性質の熱処理挙動
Annealing behaviour of optical properties and structure of r.f.-sputtered InSe films.
著者 (3件):
SHIGETOMI S
(Kurume Univ., Fukuoka, JPN)
,
OHKUBO H
(Kurume Univ., Fukuoka, JPN)
,
IKARI T
(Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
199
号:
2
ページ:
215-222
発行年:
1991年04月15日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)