文献
J-GLOBAL ID:200902089073930211
整理番号:93A0380529
0.1μm以下のチャネル長に有効なSPDD pMOSFETの構造とその電気的特性
An SPDD p-MOSFET structure suitable for 0.1 and sub 0.1 micron channel length and its electrical characteristics.
著者 (10件):
SAITO M
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
YOSHITOMI T
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
ONO M
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
AKASAKA Y
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
NII H
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
MATSUDA S
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
MOMOSE H S
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
KATSUMATA Y
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
USHIKU Y
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
,
IWAI H
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
資料名:
Technical Digest. International Electron Devices Meeting
(Technical Digest. International Electron Devices Meeting)
巻:
1992
ページ:
897-900
発行年:
1992年
JST資料番号:
C0829B
ISSN:
0163-1918
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)