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文献
J-GLOBAL ID:200902089073930211   整理番号:93A0380529

0.1μm以下のチャネル長に有効なSPDD pMOSFETの構造とその電気的特性

An SPDD p-MOSFET structure suitable for 0.1 and sub 0.1 micron channel length and its electrical characteristics.
著者 (10件):
SAITO M
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
YOSHITOMI T
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
ONO M
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
AKASAKA Y
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
NII H
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
MATSUDA S
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
MOMOSE H S
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
KATSUMATA Y
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
USHIKU Y
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
IWAI H
(Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)

資料名:
Technical Digest. International Electron Devices Meeting  (Technical Digest. International Electron Devices Meeting)

巻: 1992  ページ: 897-900  発行年: 1992年 
JST資料番号: C0829B  ISSN: 0163-1918  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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