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文献
J-GLOBAL ID:200902089167832868   整理番号:91A0022059

結晶格子のSTM像を基準に用いた超精密位置決め機構 (第5報:試料表面方向の探針のサーボトラッキング回路)

Super-precision positioning mechanism using STM image of crystal lattice as standard.( 5th report : servo tracking circuit of a probe to the direction of sample surface. ).
著者 (4件):
川勝英樹
(東大 生産技研)
樋口俊郎
(東大 生産技研)
星泰雄
(東大 大学院)
北野斉
(松下電工)

資料名:
精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)

巻: 1990  号: Autumn 2  ページ: 571-572  発行年: 1990年09月 
JST資料番号: Y0914A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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