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著者 (1件)：
資料名：
巻： 7 号： 6 ページ： 1898-1902 発行年： 1989年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902089182462724
整理番号：90A0237095
National Institute of Standards and Technologyの分子測定機器開発プロジェクト 計測法と精密工学設計
The National Institute of Standards and Technology molecular measuring machine project: Metrology and precision engineering design.
TEAGUE E C
(National Inst. Standards and Technology, Maryland)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 7 号： 6 ページ： 1898-1902 発行年： 1989年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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