文献
J-GLOBAL ID:200902089234585927
整理番号:89A0496957
プラズマ源イオン打込み 材料のイオンビーム改質における新しい方法
Plasma source ion implantation: A new approach to ion beam modification of materials.
著者 (1件):
CONRAD J R
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
資料名:
Materials Science & Engineering. A. Structural Materials: Properties, Microstructure and Processing
(Materials Science & Engineering. A. Structural Materials: Properties, Microstructure and Processing)
巻:
116
ページ:
197-203
発行年:
1989年08月15日
JST資料番号:
D0589B
ISSN:
0921-5093
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)