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著者 (2件)：
資料名：
巻： 7 号： 4 ページ： 788-790 発行年： 1992年04月
JST資料番号： D0987B ISSN： 0884-2914 CODEN： JMREEE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902089871974945
整理番号：92A0363443
低線量酸素注入により形成した埋め込み酸化物層
Buried oxie layers formed by low-dose oxygen implantation.
NAKASHIMA S
(Nippon Telegraph and Telephone Corp., Atsugi-shi, JPN)
,
IZUMI K
(Nippon Telegraph and Telephone Corp., Atsugi-shi, JPN)
資料名：
Journal of Materials Research
(Journal of Materials Research)
巻： 7 号： 4 ページ： 788-790 発行年： 1992年04月
JST資料番号： D0987B ISSN： 0884-2914 CODEN： JMREEE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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