文献
J-GLOBAL ID:200902091394277565
整理番号:88A0389768
異方性電気化学的パターンエッチングに対する物質移動の役割
The role of mass transport on anisotropic electrochemical pattern etching.
著者 (2件):
ALKIRE R
(Univ. Illinois, IL, USA)
,
DELIGIANNI H
(Univ. Illinois, IL, USA)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
135
号:
5
ページ:
1093-1100
発行年:
1988年05月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)