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資料名：
巻： 63 号： 10 ページ： 4799-4803 発行年： 1988年05月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902094526241483
整理番号：89A0005923
シリコン微小素子の走査電子顕微鏡下でのその場破壊試験
Fracture testing of silicon microelements in situ in a scanning electron microscope.
JOHANSSON S
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
SCHWEITZ J-A
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
TENERZ L
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
,
TIR<span style=text-decoration:overline>E ́</span>N J
(Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 63 号： 10 ページ： 4799-4803 発行年： 1988年05月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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