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J-GLOBAL ID：200902097622963413 整理番号：92A0179502

ジルコン酸チタン酸鉛のスパッタ膜の短時間熱処理プロセスによる結晶化

Crystallization of sputtered lead zirconate titanate films by rapid thermal processing.

著者 (3件)：

VASANT KUMAR C V R

(Queen’s Univ., Kingston, CAN)

PASCUAL R

(Queen’s Univ., Kingston, CAN)

SAYER M

(Queen’s Univ., Kingston, CAN)

資料名：

Journal of Applied Physics (Journal of Applied Physics)

巻： 71 号： 2 ページ： 864-874 発行年： 1992年01月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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