文献
J-GLOBAL ID:200902098461695290
整理番号:89A0318918
熱アニールによる非晶質Ge1-xAlx薄膜の電気抵抗率と構造の変化
Electrical resistivity and structural changes in amorphous Ge1-xAlx thin films under thermal annealing.
著者 (3件):
CATALINA F
(C.S.I.C., Madrid, ESP)
,
AFONSO C N
(C.S.I.C., Madrid, ESP)
,
ORTIZ C
(IBM Research Lab., CA, USA)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
167
ページ:
57-65
発行年:
1988年12月15日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)