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著者 (2件)：
資料名：
巻： 59 号： 17 ページ： 2091-2093 発行年： 1991年10月21日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902099686274304
整理番号：91A0923542
13.56MHz以上の周波数における静電容量結合グロー放電
Capacitively coupled glow discharges at frequencies above 13.56MHz.
SURENDRA M
(Univ. California, California)
,
GRAVES D B
(Univ. California, California)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 59 号： 17 ページ： 2091-2093 発行年： 1991年10月21日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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