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著者 (4件)：
資料名：
巻： 14 号： 6 ページ： 4212-4215 発行年： 1996年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902101402091420
整理番号：97A0194382
水収着能の高いArF表面改質レジストプロセス
ArF surface modification resist process with enhanced water sorption ability.
MATSUO T
(Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Osaka, JPN)
,
ENDO M
(Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Osaka, JPN)
,
SHIRAI M
(Univ. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
,
TSUNOOKA M
(Univ. Osaka Prefecture, Osaka, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 14 号： 6 ページ： 4212-4215 発行年： 1996年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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