文献
J-GLOBAL ID:200902101947108193
整理番号:98A0419905
RFプラズマ促進化学蒸着法による酸化インジウムすず/ガラス基板上のGaNの成長
Growth of GaN on Indium Tin Oxide/Glass Substrates by RF Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Method.
著者 (4件):
PARK D-C
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
KO H-C
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
FUJITA SHIZ
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
FUJITA SHIG
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters
(Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻:
37
号:
3A
ページ:
L294-L296
発行年:
1998年03月01日
JST資料番号:
F0599B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)