文献
J-GLOBAL ID:200902102194749987
整理番号:96A0655030
TP-Dプラズマ源を用いたシートプラズマ生成
Production of sheet plasma using a TP-D plasma source.
著者 (5件):
SUNAKO K
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
,
NANRI K
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
,
NOGUCHI T
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
,
YABE E
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
,
TAKAYAMA K
(Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
111
号:
1/2
ページ:
151-156
発行年:
1996年04月
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)