文献
J-GLOBAL ID:200902102325805276
整理番号:97A0597925
STMを用いた超精密角度センサ (第2報) 原子頂点の追跡とヨーイング測定
Angle Sensor with STM. (2nd Report). Atom Tracking and Yaw Measurement.
著者 (2件):
佐久田茂
(東芝 生産技研)
,
KAMAL Y-T
(MIT Lab. Manufacturing and Productivity, MA, USA)
資料名:
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻:
63
号:
6
ページ:
807-811
発行年:
1997年06月
JST資料番号:
F0268A
ISSN:
0912-0289
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)