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J-GLOBAL ID：200902102661438281 整理番号：99A0313349

レーザ・トラッピングとMirau干渉計に基づくナノ座標測定器用新探触子技術に関する基礎的研究

Fundamental study on the new probe technique for the nano-CMM based on the laser trapping and Mirau interferometer.

著者 (4件)：

TAKAYA Y

(Osaka Univ., Osaka, JPN)

SHIMIZU H

(Osaka Univ., Osaka, JPN)

TAKAHASHI S

(Osaka Univ., Osaka, JPN)

MIYOSHI T

(Osaka Univ., Osaka, JPN)

資料名：

Measurement (Measurement)

巻： 25 号： 1 ページ： 9-18 発行年： 1999年01月
JST資料番号： W0315B ISSN： 0263-2241 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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