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著者 (3件)：
資料名：
巻： 14 号： 6 ページ： 4129-4133 発行年： 1996年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902103857304999
整理番号：97A0194364
ナノインプリントリソグラフィー
Nanoimprint lithography.
CHOU S Y
(Univ. Minnesota, Minnesota)
,
KRAUSS P R
(Univ. Minnesota, Minnesota)
,
RENSTROM P J
(Univ. Minnesota, Minnesota)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 14 号： 6 ページ： 4129-4133 発行年： 1996年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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