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著者 (6件)：
資料名：
巻： 13 号： 6 ページ： 2813-2818 発行年： 1995年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902104893925181
整理番号：96A0169238
走査プローブ顕微鏡によるナノ構造の作製
Fabrication of nanostructures using scanning probe microscopes.
HOSAKA S
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
HOSOKI S
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
HASEGAWA T
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
KOYANAGI H
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
SHINTANI T
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
,
MIYAMOTO M
(Hitachi Ltd., Tokyo, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 13 号： 6 ページ： 2813-2818 発行年： 1995年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 1071-1023 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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