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著者 (6件)：
資料名：
巻： 136 号： 1/3 ページ： 273-275 発行年： 2001年02月02日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902105624321381
整理番号：01A0264704
インバータプラズマを用いた銅のイオン支援蒸着
Ion-assisted deposition of copper using an inverter plasma.
KIUCHI M
(Osaka National Res. Inst., Osaka, JPN)
,
MURAI K
(Osaka National Res. Inst., Osaka, JPN)
,
TANAKA K
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
TAKECHI S
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
SUGIMOTO S
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
GOTO S
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 136 号： 1/3 ページ： 273-275 発行年： 2001年02月02日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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