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著者 (7件)：
資料名：
巻： 15 号： 3 Pt 1 ページ： 890-893 発行年： 1997年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902105747955059
整理番号：97A0742866
高イオン密度のArとSF6プラズマに曝したAlGaAsとInGaPの損傷研究
Damage investigation in AlGaAs and InGaP exposed to high ion density Ar and SF6 plasmas.
LEE J W
(Univ. Florida, Florida)
,
LEE K N
(Univ. Florida, Florida)
,
STRADTMANN R R
(Univ. Florida, Florida)
,
ABERNATHY C R
(Univ. Florida, Florida)
,
PEARTON S J
(Univ. Florida, Florida)
,
HOBSON W S
(Bell Lab., New Jersey)
,
REN F
(Bell Lab., New Jersey)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 15 号： 3 Pt 1 ページ： 890-893 発行年： 1997年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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