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著者 (3件)：
資料名：
巻： 16 号： 3 Pt 1 ページ： 1227-1232 発行年： 1998年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：200902106897610374
整理番号：98A0631317
電気めっきおよびスパッタ蒸着した銅表面の酸化のX線光電子分光特性評価
X-ray photoelectron spectroscopy characterization of the oxidation of electroplated and sputter deposited copper surfaces.
APEN E
(Motorola, Inc., Arizona)
,
ROGERS B R
(Motorola, Inc., Arizona)
,
SELLERS J A
(Motorola, Inc., Arizona)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 16 号： 3 Pt 1 ページ： 1227-1232 発行年： 1998年05月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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